电子级双氧水过H2O2氧化氢纯化技术

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一种低成本高纯双氧水纯化技术，打破国际超净高纯化学品制备技术垄断，产品符合SEMI标准要求，适合新建项目优化设计、旧项目提标改造。

高纯双氧水是重要半导体用电子化学品之一，双氧水SEMIC12要求金属离子浓度≤0.1ppb，非金属离子浓度≤100ppb，颗粒≥0.5μm＜25pcs/ml ，主要应用于硅片的氧化、清洗等工艺。除了电子行业外还可用于医学消毒、食品等行业，用途非常广泛。

超净高纯电子化学品是超大规模集成电路制造的关键集成性原材料，其纯度、洁净度对成品率、电性能、可靠性等有十分重要的影响，目前高纯电子化学品生产技术被德、日、美等少数几个发达国家掌握诸如德国E.Merck、美国Ashlan、Arch、日本Wako等占全球市场份额的90%以上，我国目前生产初级和中级电子化学品为主，高纯电子化学品技术非常薄弱。因此超高纯电子化学品的研发即技术具有重要的战略、经济价值和社会效益。

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